姓名:孟凯 | 性别: 男 | 职务:院长助理 | |
职称:教授 | 博导/硕导: | 办公室:17-308 | |
研究领域:智能微纳检测,集成电路制造与检测装备,智能可持续制造 | |||
电话: | Email:k.meng@nuaa.edu.cn |
个人简介:
孟凯,南京航空航天大学机电学院教授,南京航空航天大学国家级重点实验室天元实验室研究骨干、空天集成电路与微系统工信部重点实验室集成电路工艺检测方向学术带头人、全国工程专业学位研究生培养示范基地建设核心骨干、机电学院极端尺度测量与智能装备创新团队负责人。中国仪器仪表学会集成电路测量与仪器分会委员,中国光学工程学会高级会员,美国光学学会(OPTICA)会员。曾任美国麻省理工学院(MIT)机械系博士后研究员、美国北德克萨斯大学信息技术与决策科学系访问学者。长期从事智能微纳检测、智能可持续制造以及集成电路制造与检测装备技术研究。主持和主要承担国家级基金、省部级重大/重点项目等多项科技攻关项目。担任国际学术期刊Nanomanufacturing and Metrology、Journal of Intelligent Manufacturing and Special Equipment青年编委以及Optics Letters等十余个SCI学术期刊审稿专家。曾获江苏省科学技术奖一等奖、江苏省研究生教育改革成果一等奖。
工作经历:
2022.03—现在 特聘研究员/教授 南京航空航天大学
2017.09—2021.09 博士后研究员 麻省理工学院(MIT)
教育背景:
2009.09—2012.03 硕 士 南京航空航天大学
2005.09—2009.06 学 士 南京航空航天大学
近五年主要学术论文:
[1] Meng, K., Hu, D., Wang, K. et al. (2025). Optimized overlay metrology based on polarization eigenstate of Mueller matrix. Optics Express. 33 (6), 13358-13375.
[2] Chen, L., Meng, K.*, Zhang, H., et al. (2025). SR-FABNet: Super-resolution branch guided Fourier attention detection network for efficient optical inspection of nanoscale wafer defects. Advanced Engineering Informatics,65, 103200.
[3] Zhang, H., Meng, K.*, & Lou, P. (2024). Fast and precise single-frame phase demodulation interferometry. Optics Express, 32(12), 21017-21027.
[4] Wang, K., Meng, K.*, Zhang, H., & Lou, P. (2024). Neural network driven sensitivity analysis of diffraction-based overlay metrology performance to target defect features. Measurement Science and Technology, 35(9), 095201.
[5] Shan, M., Dang, C., Meng, K.*, et al. (2024). Recycling of LiFePO4 cathode materials: From laboratory scale to industrial production. Materials Today, 73:130-150.
[6] Meng, K.*, Xu, G., Peng, X., et al. (2022). Intelligent disassembly of electric-vehicle batteries: a forward-looking overview. Resources, Conservation & Recycling.182, 106207.
[7] Meng, K.*, Jiang, B., & Youcef-Toumi, K. (2021). Neural network assisted multi-parameter global sensitivity analysis for nanostructure scatterometry. Applied Surface Science. 570, 151219.
[8] Meng, K.*, Cao, Y., Peng, X., et al. (2020). Smart Recovery Decision-Making for End-of-life Products in the Context of Ubiquitous Information and Computational Intelligence. Journal of Cleaner Production. 272, 122804.
[9] Meng, K. *, Cao, Y., Peng, X., et al. (2020). Demand-dependent recovery decision-making of a batch of products for sustainability. International Journal of Production Economics, 224, 107552.
[10] Meng, K., Qian, X.*, Lou, P., et al. (2020). Smart recovery decision-making of used industrial equipment for sustainable manufacturing: belt lifter case study. Journal of Intelligent Manufacturing, 31(1), 183-197.
近年主要授权专利:
[1] 图像仿真、伪随机缺陷数据集生成及微纳缺陷检测方法,ZL 202410371650.0
[2] 衍射型套刻标记多缺陷特征的全局灵敏度分析方法. ZL 202410546639.3
[3] 一种本质特征引导的小样本图像分割数据增强方法.ZL 202410264757. 5
[4] 一种基于逼近理想点加权的多模型决策自适应采样方法. ZL 202410467230.2
[5] 一种基于倾斜白光扫描干涉的横向分辨率增强方法. ZL 202410264896.8
获奖情况:
2023 江苏省科学技术奖一等奖
2017 江苏省研究生教育改革成果一等奖
近年主要承担科技项目:
[2] 长三角科技创新共同体联合攻关计划重点揭榜任务项目,***芯片***贴装技术研究(2024CSJGG0400),2025-2026。
[3] 江苏省科技重大专项揭榜挂帅项目,纳米级图形晶圆***检测设备研发(BG2024022),2024-2027。
[4] 江苏省重点研发计划揭榜挂帅项目课题,集成电路***测量分析与优化技术研发(BE2023015-2),2023-2027。
[5] 江苏省科技成果转化专项资金揭榜挂帅项目,基于机器视觉的高速高精度智能成套装备研发及产业化(BA2021005),2021-2024。
[6] 国家级重点实验室基金项目,2024-2025。
[7] 江苏省新型研发机构建设项目, 2022-2026。