王玉峰博士答辩公告

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王玉峰博士答辩公告

发布时间:2017-03-29浏览次数:876作者:来源:机电学院供图:审核:

答辩博士：王玉峰

指导老师：朱荻教授

曾永彬教授

论文题目：微纳工具液膜电化学制备及应用

答辩委员会：

主席：孙庆鸿教授/博导东南大学

委员：李小宁教授/博导南京理工大学

曲宁松教授/博导南京航空航天大学

徐正扬教授/博导南京航空航天大学

曾永彬教授/博导南京航空航天大学

秘书：房晓龙副教授/硕导南京航空航天大学

答辩时间：2017年3月30日14:00

地点：南航明故宫校区4202

学位论文简介：

微细电解加工以离子的形式去除材料，理论上可实现纳米级精度的加工。微细电解加工是一种非接触式加工方法，电极无损耗，适于加工尺度微小的金属或半导体微型结构和零件。但是由于杂散腐蚀效应，影响了微细电解加工技术的加工定域性。超短脉冲微细电解加工的提出使得微细电解加工的精度得到了大幅度提高。论文对超短脉冲微细电解加工中微纳米尺度工具电极制备、试验平台研制、加工状态监测和提高微细电解加工效率等难点进行了系统的研究。

主要创新点：

（1）研制了微细电解加工试验平台。提出了基于高频电子示波器通过/失败测试的微细电解加工稳定性监测技术。

（2）研究了液膜电解刻蚀的基本机理，并改进、发展液膜电解刻蚀技术，成功制备出亚微米尺度大长径比工具电极（平均直径320nm，长径比大于70）和纳米工具电极（直径φ30nm）。

（3）首次利用高频脉冲电压液膜电解制备亚微米尺度球头电极，研究了亚微米球头电极的成形机理，利用最优参数制备出最小直径约φ180nm的球头电极。

（4）基于柱状电极和球头电极进行微细电解加工工艺研究。

（5）提出阳极工件振动辅助微细电解加工，建立振动辅助微细电解加工数学模型，试验研究表明合适的振动频率（~60Hz）和较大的振动幅值有利于提高微细电解加工效率。

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